基本信息
| 标准名称： | 硅片表面平整度测试方法 |
| 英文名称： | Testing methods for surface flatness of silicon slices |
| 中标分类： |
冶金 >>
半金属与半导体材料 >>
半金属与半导体材料综合 |
| ICS分类： |
电气工程 >>
半导体材料
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| 替代情况： | 替代GB/T 6621-1995 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2009-10-30 |
| 实施日期： | 2010-06-01 |
| 首发日期： | 1986-07-26 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 提出单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 起草单位： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 起草人： | 徐新华、严世权、王珍 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2010-06-01 |
| 页数： | 8页 |
适用范围
本标准规定了用电容位移传感器测定硅抛光片平整度的方法,切割片、研磨片、腐蚀片也可参考此方法。
本标准适用于测量标准直径76mm、100mm、125mm、150mm、200mm,电阻率不大于200Ω·cm厚度不大于1000μm 的硅抛光片的表面平整度和直观描述硅片表面的轮廓形貌。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 冶金 半金属与半导体材料 半金属与半导体材料综合 电气工程 半导体材料
【英文标准名称】:Wheatandwheatflour-Glutencontent-Part3:Determinationofdryglutenfromwetglutenbyanovendryingmethod(ISO21415-3:2006);GermanversionENISO21415-3:2007
【原文标准名称】:小麦与小麦粉.面筋含量.第3部分:用烘箱烘干法测定湿面筋中的干面筋
【标准号】:DINENISO21415-3-2007
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2007-06
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:农产品;谷物产品;化学分析和测试;定义;含量测定;干燥;烘干;面粉;面筋;烘箱烘干;烘干法;湿的;小麦
【英文主题词】:Agriculturalproducts;Cerealproducts;Chemicalanalysisandtesting;Definition;Definitions;Determinationofcontent;Dry;Drying;Flour;Gluten;Ovendrying;Oven-drymethods;Stoving;Wet;Wheat
【摘要】:ThispartofISO21415specifiesamethodforthedeterminationofthedryglutencontentfromwetglutenobtainedasspecifiedineitherISO21415-1orISO21415-2.Inthismethod,dryglutenisobtainedfromwetglutenbydryinginanoven.Themethodcanalsobeusedtodeterminethemoisturecontentofthewetgluten.
【中国标准分类号】:B22
【国际标准分类号】:67_060
【页数】:11P.;A4
【正文语种】:德语